真空法兰螺栓怎么装？真空密封衔接

真空设备对泄漏极其敏感，一条微幼的漏气通路就能让真空度上不去
。真空法兰的密封，螺栓的装置质量起着决定性作用
。真空法兰螺栓怎么装能力保障密封？今天讲明显真空密封衔接的重点
。

真空法兰密封的道理

真空法兰靠螺栓把两个法兰面压紧，中央夹密封圈，密封圈被压缩变形填满法兰面的微观不平，实现密封
。

真空密封的靠得住性和两个成分直接有关：一是密封圈的压缩量，二是螺栓压紧力是否均匀
。压缩量不够，漏气；压紧力不均，密封圈一侧压扁一侧没压到，也漏
。

真空法兰螺栓的选型

真空环境用的螺栓有讲求：

资料方面，304、316不锈钢是主流，耐侵蚀、放气率低；要求更高用无磁不锈钢或特殊合金
。碳钢螺栓在真空里会放气、生锈，通常不用于真空法兰
。

螺纹方面，真空法兰螺栓用细牙螺纹更好，细牙自锁性好、预紧力节造更精确
。

表表处置方面，不锈钢螺栓通常不镀层，直接使用或做电解抛光
。

真空法兰螺栓怎么装

第一，法兰面处置
。装置前法兰面要清洁，不能有油脂、划痕、锈斑
。密封圈槽要算帐干净
。

第二，密封圈搁置
。密封圈要无缺无损、尺寸相宜，放正不扭曲
。氟橡胶圈低温会变硬，装置环境温度要相宜
。

第三，螺栓对称预紧
。真空法兰必须对称、分步拧紧，不能按挨次一个接一个拧紧
。正确做法是：对角方向顺次预紧，分2-3遍逐步加力，最后用扭矩扳手按力矩值终拧
。

第四，扭矩节造
。真空法兰螺栓有推荐的扭矩领域，扭矩太大密封圈压溃失效，太幼密封不及
。M6螺栓在CF法兰上常见的扭矩是6-9牛米，具体按法兰规格和密封圈材质定
。

第五，挨次复紧
。全数拧紧后，再按对角线挨次复紧一遍，解除前面的松动和应力不均
。

真空泄漏怎么排查

装配实现后用氦质谱检漏仪检测：向法兰周围喷氦气，检漏仪检测泄漏
。发现泄漏先查抄螺栓扭矩是否均匀，再查抄密封圈是否危险、法兰面是否平坦
。螺栓松紧不均是最常见的泄漏原因，沉新按规程拧一遍往往就能解决
。

真空法兰装置是精密活：清洁、对称、分步、控扭、检漏，五步缺一不成
。出格是半导体、科研设备的真空系统，一次装配不到位，反复抽真空浪费功夫还影响设备运行
。

真空衔接的检漏

真空法兰装好后要检漏，检漏是验证密封的关键：常用氦质谱检漏，对法兰衔接处、焊缝、密封面逐一查抄
。检漏要在抽真空状态下进行，先粗抽再精检，发现漏点立即处置
。检漏合格后要做好纪录，纳入设备档案
。真空系统的密封是"装得好不好"的最终检验，装得再快，漏了也是白装
。新装系统、维建后系统都要做检漏，别省这一步
。

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